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第481章 粤州晶圆厂（第2页）

刘建章眼睛一亮，“走，我带你们去看看。”

走进新建的万级洁净厂房，首先映入视线的是挑高二十五米的现代化车间。

工人们身着特制的防静电服，在自动化生产线前专注操作。

空气中弥漫着淡淡的异丙醇气味。

“这是我们新建的千级洁净车间。”

刘建章自豪地介绍，“相比我在麻省理工见过的实验室，这里的空气洁净度还要高一个等级。

每个工人进入前都要经过四道净化程序，连空气流速都要精确控制在0.45米秒以内。”

姜思夏好奇地观察着生产线：“这比上次来看的还要先进，跟沪江相比也不一样。”

“确实不同，”

刘建章点头，“按照周总的规划，我们采取南北两条腿走路！”

“沪江走浸润路线，而我们继续深挖干式光刻的潜力。”

“干式光刻在成熟制程方面有很大优势，我们要兼顾技术和成本！”

周博解释道。

刘建章道：“在GK-1的基础上，我们自主升级了GK-2光刻机。

采用了双工作台设计，分辨率达到0.8微米，套刻精度稳定在150纳米。

预计年产能可达80万片晶圆，可以满足国内外成熟制程的需要。”

说着话，几人来到在硅材料预处理车间。

刘建章指着一台设备说：“这是我们最引以为傲的突破——硅材料纯度达到99.%。

这是我们自主研发的提纯工艺生产，精度领先全球！”

周博仔细查看了一片刚切割好的晶圆：“7个9，硅谷现在能搞到几个9？”

“5个9！”

刘建章推了推眼镜，“我们通过改进区域熔炼法，在晶体生长过程中引入了磁场控制技术，将杂质浓度降低了整整一个数量级。”

走进光刻车间，数十台光刻机整齐排列。

刘建章在一台设备前停下：“这就是我们解决了‘环境适应性难题’的新产线。

通过在光刻胶中添加特殊的稳定剂，现在良品率稳定在92%以上。

香江集团的芯片，都是由这条产线供应的。”

周博指着其中一台说：“这就是解决了‘鸡蛋清难题’的生产线。

现在我们改用标准化光刻胶，良品率稳定。”

“真是太了不起了！”